目录
趋势与展望
表面等离激元热载流子光电探测器研究进展(续)邱开放;翟爱平;王文艳;李国辉;郝玉英;崔艳霞;249-254半导体集成电路
一种电容共享的高分辨率Σ-Δ调制器郭安强;齐敏;乔东海;白春风;255-262+273
基于异构集成技术的FBAR开关滤波器组芯片郭松林;李丽;钱丽勋;王胜福;李宏军;263-267
基于GaAs HBT工艺的低相位噪声锁相环王增双;朱大成;孔祥胜;廖文生;高晓强;268-273半导体器件
单轴应变硅UTBB NMOSFET电子能谷占有率解析模型王晓艳;徐小波;张林;274-279+322半导体材料
利用射频磁控溅射法制备多层MoS2薄膜滕世豹;杨瑞霞;兰飞飞;陈春梅;田树盛;孙小婷;刘海萍;280-286+311
高电阻率均匀性4英寸半绝缘GaAs单晶生长技术兰天平;周春锋;边义午;宋禹;马麟丰;287-292+303半导体制造技术
退火处理降低AlGaN/GaN台面隔离电流赵志波;杨兵;康玄武;张静;吴昊;孙跃;郑英奎;魏珂;293-297+311
BIT作为缓蚀剂在铜互连阻挡层CMP的应用齐嘉城;王辰伟;潘国峰;黄超;崔军蕊;298-303
化学液相沉积制备氧化铝薄膜及在TENG中的应用阮璐;李典伦;吴朝兴;严子雯;陈桂雄;林金堂;严群;孙捷;304-311
双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化工艺孙晓凯;田凤美;靳迎松;张福庆;胡明强;312-316可靠性
高k介质金属栅器件热载流子测试及其失效机理周昊;蔡小五;郝峰;赵永;317-322
蓄水池结构对Cu互连线电迁移寿命的影响张宇;蔡小五;323-328